高純度パイプラインシステム用カスタムコンポーネント

簡単な説明:

高純度パイプラインシステム用カスタム部品は、エルボ、T字継手、レデューサーなどを含む316L VARステンレス鋼（不純物含有量≤0.03%）またはPVDF製で、電解研磨（Ra≤0.2μm）および自動軌道溶接（CSE規格）が施されています。表面吸着ゼロ、粒子脱落量≤0.1μm、優れた耐腐食性（電子機器用酸・アルカリ）を特徴とし、ヘリウム質量分析法によるリーク検出（速度≤1×10⁻⁹Pa·m³/s）に合格しています。鏡面仕上げの内壁とデッドアングルフリー溶接により、媒体汚染を防ぎ、不動態化処理により高純度環境を維持します。半導体ウェハ洗浄ライン、医薬品無菌液システム、PVシリコンエッチング、電子機器用特殊ガス伝送などに応用され、SEMI F20およびISO 14644-1クラス5の清浄度基準に準拠しています。