超純水(UPW)

超纯水

プロセスフロー図

超纯水工艺流程図

技術予備隊

膜分離プロセス(限外濾過、一次/二次逆浸透(RO)、一次電気脱イオン(EDI)、二次EDI)とAIベースの動的モニタリングテクノロジーに基づいて、生産水の抵抗率が18.2MΩ·cmで安定することを保証するフルプロセス水質最適化システムが構築され、半導体ウェーハ洗浄と高精度製造の要件に応えます。

1、長期防汚膜技術:ナノコーティングされたRO膜(一次/二次)は、塩除去効率が99%以上で化学洗浄サイクルを6〜12か月延長します。

2、動的水質最適化アルゴリズム:AIがイオン残留物(EDI後の微量イオンを含む)と粒子濃度をリアルタイムで分析し、膜汚染の早期警告率90%以上を実現します。

3、柔軟なプロセス適応能力:モジュール設計により、前処理(例:限外濾過)と研磨プロセス(二次EDI深層脱塩)を迅速に調整して、複雑な水質変動に適応できます。

工業化の利点

モジュール統合と社内製造能力により、効率的な納品とライフサイクル全体のコスト最適化を実現します。

1、コアコンポーネントの自社製造:PTFEライニングを施した貯蔵タンクは、耐用年数が20%延長され、処理コストが大幅に削減されます。

2、プレハブ統合配送:限外濾過・逆浸透(一次/二次RO)を統合したスキッドマウント型モジュール展開により、床面積を効果的に削減します。

3、自動制御プラットフォーム:SCADA システムは、エネルギー消費とメンテナンス戦略をリアルタイムで最適化し、サイクル全体のコストを大幅に削減します。

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