Индивидуальные компоненты для трубопроводных систем высокой чистоты
Изготовленные по индивидуальному заказу компоненты для высокочистых трубопроводных систем изготавливаются из нержавеющей стали 316L VAR (содержание примесей ≤0,03%) или PVDF, включая отводы, тройники, переходы и т. д., электрополированные (Ra≤0,2 мкм) и сваренные на автоматической орбитальной сварке (стандарт CSE). Обладая нулевой поверхностной адсорбцией, отрывом частиц ≤0,1 мкм и высокой коррозионной стойкостью (к кислотам/щелочам электронного класса), они проходят гелиевую масс-спектрометрию для обнаружения утечек (скорость ≤1×10⁻⁹Па·м³/с). Зеркальная внутренняя стенка и сварка без мертвых углов предотвращают загрязнение среды, а пассивация поддерживает высокочистую среду. Применяются в линиях очистки полупроводниковых пластин, фармацевтических асептических жидкостных системах, фотоэлектрическом травлении кремния и электронной передаче специальных газов, соответствуя стандартам чистоты SEMI F20 и ISO 14644-1 класса 5.
