工艺流程图 技术储备 依托高密封管路设计与智能流量调控技术,实现高纯度化学品零泄漏输送,纯度稳定性≥99.999%,满足半导体制造ppm级洁净度要求。 1、微泄漏防护技术:惰性气体保护+双密封设计,泄漏检测灵敏度达10⁻⁶ mbar·L/s; 2、精密流量调控:磁力驱动泵动态误差≤±0.5%,适配强腐蚀介质稳定输送; 3、废气无害化处理:催化分解+吸附技术,尾气排放符合ISO 14001标准。 产业化优势 凭借全球化供应链与自主工艺能力,实现高可靠性交付与全周期服务闭环。 1、复杂管路适配能力:高精度偏心变径与转换接头,安装效率有效提升; 2、全球核心元件协同:耐腐隔膜阀与泵头48小时备件响应,系统可靠性大幅提升; 3、自动化控制平台: PLC+ SCADA系统实时优化能耗与维护策略,全周期成本大幅下降。 相关产品 箱罐 化学品柜 清洗设备