高纯管路系统定制件

简短描述：

高纯管路系统定制件采用 316L VAR 不锈钢（杂质≤0.03%）或 PVDF 材质，包含弯头、三通、变径等管件，经电解抛光（Ra≤0.2μm）与自动轨道焊（CSE 标准）加工。具备表面零吸附、颗粒脱落≤0.1μm、耐强腐蚀（耐受电子级酸碱）特性，通过氦质谱检漏（泄漏率≤1×10⁻⁹Pa・m³/s）。运行时以镜面内壁与无死角焊接结构杜绝介质污染，配合钝化处理维持高纯环境。用于半导体晶圆清洗线、制药无菌配液系统、光伏硅片蚀刻及电子特气输送场景，符合 SEMI F20 与 ISO 14644-1 Class 5 洁净标准。