超纯水(UPW)

超纯水

工艺流程图

超纯水工艺流程图

技术储备

基于膜分离工艺(超滤、一/二级反渗透(RO)、一级电去离子(EDI)、二级EDI)与 AI 动态监控技术,构建全流程水质优化体系,确保产水电阻率稳定于 18.2 MΩ・cm,适配半导体晶圆清洗与高精度制造需求。

1、长效抗污染膜技术:纳米涂层RO膜(一/二级)化学清洗周期延长至6-12个月,脱盐效率≥99%,;

2、动态水质优化算法:AI实时分析离子残留(含EDI处理后微量离子)与颗粒物浓度,实现膜污染预警率≥90%;

3、柔性工艺适配能力:模块化设计支持快速调整预处理(如超滤预处理)与精处理工艺(二级EDI深度除盐),适应复杂水质波动。

产业化优势

通过模块化集成与自主制造能力,实现高效交付与全生命周期成本优化。

1、核心部件自主制造:储液箱罐(PTFE内衬)寿命提升20%,加工成本大幅降低;

2、预制式集成交付:超滤-反渗透(一级 / 二级 RO)一体化撬装模块化部署,占地面积有效缩减;

3、自动化控制平台:SCADA系统实时优化能耗与维护策略,全周期成本大幅下降。

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