Ultrareines Wasser (UPW)

Prozessablaufdiagramm

Technische Reserve

Basierend auf Membrantrennverfahren (Ultrafiltration, primäre/sekundäre Umkehrosmose (RO), primäre Elektrodeionisation (EDI), sekundäre EDI) und KI-basierter dynamischer Überwachungstechnologie wird ein System zur Optimierung der Wasserqualität für den gesamten Prozess aufgebaut, um sicherzustellen, dass der Widerstand des produzierten Wassers bei 18,2 MΩ·cm stabilisiert wird und den Anforderungen der Reinigung von Halbleiterwafern und der hochpräzisen Fertigung gerecht wird.

1. Langfristige Antifouling-Membrantechnologie: Nanobeschichtete RO-Membranen (primär/sekundär) verlängern die chemischen Reinigungszyklen auf 6–12 Monate mit einer Salzabweisungseffizienz von ≥99 %.

2. Dynamischer Algorithmus zur Wasserqualitätsoptimierung: KI führt eine Echtzeitanalyse der ionischen Rückstände (einschließlich Spurenionen nach EDI) und der Partikelkonzentration durch und erreicht eine Frühwarnrate für Membranverschmutzung von ≥ 90 %.

3. Flexible Prozessanpassungsfähigkeit: Der modulare Aufbau ermöglicht eine schnelle Anpassung der Vorbehandlungs- (z. B. Ultrafiltration) und Polierprozesse (sekundäre EDI-Tiefenentsalzung) an komplexe Schwankungen der Wasserqualität.

Vorteile der Industrialisierung

Durch modulare Integration und interne Fertigungskapazitäten erreichen Sie eine effiziente Lieferung und eine Kostenoptimierung über den gesamten Lebenszyklus.

1. Eigene Herstellung der Kernkomponenten: Lagertanks mit PTFE-Auskleidung erreichen eine um 20 % längere Lebensdauer und deutlich geringere Verarbeitungskosten.

2. Vorgefertigte integrierte Lieferung: Die integrierte, auf einem Schlitten montierte modulare Bereitstellung der Ultrafiltrations-Umkehrosmose (primäre/sekundäre RO) reduziert effektiv die Stellfläche.

3. Automatisierte Steuerungsplattform: Das SCADA-System optimiert den Energieverbrauch und die Wartungsstrategien in Echtzeit, was zu einer erheblichen Kostensenkung im gesamten Zyklus führt.