고순도 파이프라인 시스템용 맞춤형 부품
고순도 파이프라인 시스템용 맞춤형 부품은 316L VAR 스테인리스강(불순물 ≤0.03%) 또는 PVDF로 제작되며, 엘보, 티, 리듀서 등을 포함합니다. 이 부품들은 전해연마(Ra≤0.2μm) 및 자동궤도 용접(CSE 표준)으로 마감됩니다. 표면 흡착이 전혀 없고, 입자 방출량이 ≤0.1μm이며, 전자 등급 산/알칼리에 대한 강력한 내식성을 자랑합니다. 또한 헬륨 질량 분석법을 이용한 누출 감지(누출률 ≤1×10⁻⁹Pa·m³/s)를 통과합니다. 거울처럼 매끄러운 내벽과 사각지대 없는 용접은 매체 오염을 방지하고, 부동태화 처리를 통해 고순도 환경을 유지합니다. 반도체 웨이퍼 세척 라인, 제약 무균 액체 시스템, PV 실리콘 에칭, 전자 특수 가스 이송 등에 적용되며, SEMI F20 및 ISO 14644-1 Class 5 청정도 기준을 충족합니다.
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