Componentes personalizados para sistemas de dutos de alta pureza
Componentes personalizados para sistemas de dutos de alta pureza são feitos de aço inoxidável 316L VAR (impurezas ≤ 0,03%) ou PVDF, incluindo cotovelos, tês, redutores, etc., eletropolidos (Ra ≤ 0,2 μm) e soldados em órbita (padrão CSE). Apresentando adsorção superficial zero, desprendimento de partículas ≤ 0,1 μm e forte resistência à corrosão (a ácidos/álcalis de grau eletrônico), eles passam pela detecção de vazamento por espectrometria de massas de hélio (taxa ≤ 1 × 10⁻⁹Pa·m³/s). A parede interna com acabamento espelhado e a soldagem sem ângulo morto previnem a contaminação do meio, com a passivação mantendo ambientes de alta pureza. Aplicado em linhas de limpeza de wafers semicondutores, sistemas farmacêuticos de líquidos assépticos, corrosão de silício fotovoltaico e transmissão eletrônica de gases especiais, em conformidade com os padrões de limpeza SEMI F20 e ISO 14644-1 Classe 5.
