Nước siêu tinh khiết (UPW)

Sơ đồ quy trình

Dự trữ kỹ thuật

Dựa trên các quy trình tách màng (siêu lọc, thẩm thấu ngược sơ cấp/thứ cấp (RO), điện cực hóa sơ cấp (EDI), EDI thứ cấp) và công nghệ giám sát động dựa trên AI, một hệ thống tối ưu hóa chất lượng nước toàn bộ quy trình được xây dựng để đảm bảo điện trở suất của nước sản xuất được ổn định ở mức 18,2 MΩ·cm, đáp ứng các yêu cầu làm sạch wafer bán dẫn và sản xuất có độ chính xác cao.

1、Công nghệ màng chống bám bẩn dài hạn: Màng RO phủ nano (sơ cấp/thứ cấp) kéo dài chu kỳ làm sạch hóa chất lên đến 6-12 tháng với hiệu suất loại bỏ muối ≥99%.

2、Thuật toán tối ưu hóa chất lượng nước động: AI thực hiện phân tích thời gian thực các chất cặn ion (bao gồm các ion vết sau EDI) và nồng độ hạt, đạt được tỷ lệ cảnh báo sớm về tình trạng tắc nghẽn màng ≥90%.

3、Khả năng thích ứng quy trình linh hoạt: Thiết kế mô-đun cho phép điều chỉnh nhanh chóng các quy trình xử lý sơ bộ (ví dụ: siêu lọc) và đánh bóng (khử muối sâu EDI thứ cấp) để thích ứng với những biến động phức tạp về chất lượng nước.

Lợi thế của công nghiệp hóa

Thông qua tích hợp mô-đun và khả năng sản xuất nội bộ, đạt được hiệu quả giao hàng và tối ưu hóa chi phí vòng đời sản phẩm.

1、Sản xuất linh kiện cốt lõi tại chỗ: Bồn chứa có lớp lót PTFE có tuổi thọ kéo dài thêm 20% và giảm đáng kể chi phí xử lý.

2、Giao hàng tích hợp chế tạo sẵn: Hệ thống siêu lọc-thẩm thấu ngược (RO sơ cấp/thứ cấp) tích hợp lắp đặt theo mô-đun trên bệ trượt giúp giảm diện tích sàn hiệu quả.

3、Nền tảng điều khiển tự động: Hệ thống SCADA tối ưu hóa mức tiêu thụ năng lượng và chiến lược bảo trì theo thời gian thực, giúp giảm đáng kể chi phí toàn chu kỳ.