Chemikalientransport

Prozessablaufdiagramm

Technische Reserve

Durch die Verwendung einer hochdichten Rohrleitungskonstruktion und einer intelligenten Durchflussregelungstechnologie wird ein leckagefreier Transport von hochreinen Chemikalien mit einer Reinheitsstabilität von ≥99,999 % erreicht, wodurch die ppm-Reinheitsanforderungen der Halbleiterfertigung erfüllt werden.

1、Mikroleckageschutztechnologie: Schutz durch Inertgas + Doppeldichtungsdesign, mit einer Leckageerkennungsempfindlichkeit von bis zu 10⁻⁶ mbar·L/s.

2、Präzise Durchflussregelung: Die magnetisch angetriebene Pumpe gewährleistet einen dynamischen Fehler von ≤±0,5% und eignet sich für den stabilen Transport stark korrosiver Medien.

3. Unschädliche Abgasreinigung: Katalytische Zersetzung + Adsorptionstechnologie, wobei die Abgasemissionen den ISO 14001-Normen entsprechen.

Vorteile der Industrialisierung

Mit einer globalen Lieferkette und internen Prozesskapazitäten erreichen wir eine hohe Lieferzuverlässigkeit und einen vollständigen Serviceabschluss.

1. Anpassungsfähigkeit an komplexe Rohrleitungen: Hochpräzise Exzenterreduzierstücke und Übergangsstücke verbessern die Installationseffizienz effektiv.

2、Globale Zusammenarbeit bei Kernkomponenten: Korrosionsbeständige Membranventile und Pumpenköpfe mit 48-Stunden-Ersatzteilverfügbarkeit, was die Systemzuverlässigkeit deutlich erhöht.

3. Automatisierte Steuerungsplattform: Das PLC+SCADA-System optimiert den Energieverbrauch und die Wartungsstrategien in Echtzeit, was zu einer erheblichen Senkung der Gesamtkosten führt.

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