Kundenspezifische Komponenten für hochreine Rohrleitungssysteme
Kundenspezifische Komponenten für Reinstleitungssysteme werden aus Edelstahl 316L VAR (Verunreinigungen ≤ 0,03 %) oder PVDF gefertigt. Dazu gehören Rohrbögen, T-Stücke, Reduzierstücke etc., die elektropoliert (Ra ≤ 0,2 μm) und orbitalgeschweißt (CSE-Standard) sind. Sie zeichnen sich durch keine Oberflächenadsorption, einen Partikelabrieb von ≤ 0,1 μm und eine hohe Korrosionsbeständigkeit (gegenüber Säuren/Laugen in Elektronikqualität) aus und bestehen die Helium-Massenspektrometrie-Lecksuche (Rate ≤ 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s). Die spiegelglatte Innenwand und die totwinkelfreie Schweißung verhindern Medienkontaminationen, während die Passivierung die hohe Reinheit der Umgebung aufrechterhält. Die Komponenten finden Anwendung in Halbleiterwafer-Reinigungsanlagen, aseptischen Flüssigkeitssystemen der Pharmaindustrie, der Silizium-Ätzung in der Photovoltaik und der Übertragung von Spezialgasen in der Elektronik und erfüllen die Reinheitsstandards SEMI F20 und ISO 14644-1 Klasse 5.
