Kundenspezifische Komponenten für hochreine Rohrleitungssysteme
Kundenspezifische Komponenten für hochreine Rohrleitungssysteme werden aus 316L VAR-Edelstahl (Verunreinigungen ≤0,03 %) oder PVDF hergestellt, einschließlich Winkelstücke, T-Stücke, Reduzierstücke usw., elektropoliert (Ra ≤0,2 μm) und autoorbitalgeschweißt (CSE-Standard). Sie weisen keine Oberflächenadsorption auf, verlieren Partikel ≤0,1 μm und sind stark korrosionsbeständig (gegenüber Säuren/Laugen in Elektronikqualität) und bestehen die Helium-Massenspektrometrie-Lecksuche (Rate ≤1×10⁻⁹Pa·m³/s). Die hochglanzpolierte Innenwand und das totwinkelfreie Schweißen verhindern Medienkontamination, und die Passivierung sorgt für hochreine Umgebungen. Einsatz in Reinigungslinien für Halbleiterwafer, aseptischen Flüssigkeitssystemen für die Pharmaindustrie, beim Ätzen von PV-Silizium und bei der elektronischen Übertragung spezieller Gase. Sie entsprechen den Sauberkeitsstandards SEMI F20 und ISO 14644-1 Klasse 5.
