Kundenspezifische Komponenten für hochreine Rohrleitungssysteme
Kundenspezifische Komponenten für hochreine Rohrleitungssysteme werden aus Edelstahl 316L VAR (Verunreinigungen ≤ 0,03 %) oder PVDF gefertigt, einschließlich Winkelstücken, T-Stücken, Reduzierstücken usw., elektropoliert (Ra ≤ 0,2 μm) und autoorbitalgeschweißt (CSE-Standard). Sie zeichnen sich durch keine Oberflächenadsorption, Partikelablösung ≤ 0,1 μm und hohe Korrosionsbeständigkeit (gegenüber Säuren/Laugen in Elektronikqualität) aus und bestehen die Helium-Massenspektrometrie-Lecksuche (Rate ≤ 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s). Die hochglanzpolierte Innenwand und das totwinkelfreie Schweißen verhindern Medienkontamination, während die Passivierung hochreine Umgebungen gewährleistet. Einsatz in Halbleiter-Wafer-Reinigungslinien, pharmazeutischen aseptischen Flüssigkeitssystemen, PV-Siliziumätzen und der elektronischen Spezialgasübertragung, gemäß den Sauberkeitsstandards SEMI F20 und ISO 14644-1 Klasse 5.
