Sistema de gases especiales (SGS)

Diagrama de flujo del proceso

Reserva Técnica

Adoptando procesos de soldadura de pureza ultra alta y tecnología de regulación de suministro de gas inteligente, logramos un transporte de gas especial con una estabilidad de pureza ≥99,9999% y una tasa de fuga ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s, cumpliendo con los estrictos estándares de control de impurezas de la industria de semiconductores.

1、Tecnología de purificación de gas: Los procesos de adsorción/catálisis eliminan las impurezas a niveles de ppb, lo que garantiza la pureza del suministro de gas.

2、Regulación de presión inteligente: adapta de forma adaptativa el flujo y la presión, con una fluctuación de pureza ≤0,1%.

3、Tratamiento de gases de cola ecológicos: la tecnología de reducción catalítica SCR reduce las emisiones de NOx a ≤5 ppm.

Ventajas de la industrialización

Con módulos estandarizados y servicios de respuesta rápida, apoye la implementación eficiente en escenarios estrictos de suministro de gas.

1. Adaptación a entornos de frío extremo: las tuberías de distribución y las cajas de válvulas de grado EP admiten el funcionamiento a -40 ℃, con un ciclo de implementación de ≤15 días.

2、Colaboración global de instrumentos: el suministro estable de equipos de detección de Endress+Hauser mejora significativamente la confiabilidad del sistema.

3、Protección de seguridad en tiempo real: el monitoreo de fugas de doble redundancia + recuperación de fallas de 4 horas garantiza una producción continua.

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