プロセスフロー図 技術予備隊 超高純度溶接プロセスとインテリジェントなガス供給制御技術を採用し、純度安定性≥99.9999%、漏れ率≤1×10⁻⁹ Pa·m³/sの特殊ガス輸送を実現し、半導体業界の厳格な不純物制御基準を満たしています。 1、ガス精製技術：吸着/触媒プロセスにより不純物をppbレベルまで除去し、ガス供給の純度を確保します。 2、インテリジェントな圧力調整：流量と圧力を適応的に調整し、純度の変動は0.1％以下です。 3、グリーン排ガス処理：SCR触媒還元技術によりNOx排出量を5ppm以下に削減します。 工業化の利点 標準化されたモジュールと迅速な対応サービスにより、厳しいガス供給シナリオでの効率的な実装をサポートします。 1、極寒環境への適応：EPグレードの配管とバルブボックスは、-40℃での動作をサポートし、展開サイクルは15日以内です。 2、グローバル機器コラボレーション：Endress+Hauser 検出機器の安定供給により、システムの信頼性が大幅に向上します。 3、リアルタイムの安全保護：二重冗長漏れ監視 + 4 時間の障害回復により、継続的な生産が保証されます。 関連製品 バルブ
