프로세스 흐름도 기술 예비 초고순도 용접 공정과 지능형 가스 공급 조절 기술을 채택하여 순도 안정성 ≥99.9999% 및 누출률 ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s의 특수 가스 수송을 구현함으로써 반도체 산업의 엄격한 불순물 관리 기준을 충족합니다. 1. 가스 정화 기술: 흡착/촉매 공정을 통해 불순물을 ppb 수준까지 제거하여 가스 공급의 순도를 보장합니다. 2. 지능형 압력 조절: 유량과 압력을 적응적으로 조절하여 순도 변동을 0.1% 이하로 유지합니다. 3. 친환경 배기가스 처리: SCR 촉매 환원 기술을 통해 NOx 배출량을 5ppm 이하로 줄입니다. 산업화의 이점 표준화된 모듈과 신속 대응 서비스를 통해 가스 공급이 제한적인 상황에서도 효율적인 구축을 지원합니다. 1. 극한 저온 환경 적응성: EP 등급의 배관 및 밸브 박스는 -40℃에서 작동 가능하며, 설치 주기는 15일 이하입니다. 2. 글로벌 계측기 협력: Endress+Hauser 검출 장비의 안정적인 공급은 시스템 신뢰성을 크게 향상시킵니다. 3. 실시간 안전 보호: 이중화된 누전 감지 및 4시간 이내 고장 복구 기능으로 지속적인 생산을 보장합니다. 관련 상품 밸브
