프로세스 흐름도 기술 예비군 초고순도 용접 공정과 지능형 가스 공급 조절 기술을 채택하여 순도 안정성 ≥99.9999%, 누설률 ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s의 특수 가스 수송을 실현하여 반도체 산업의 엄격한 불순물 관리 표준을 충족합니다. 1. 가스 정제 기술: 흡착/촉매 공정을 통해 불순물을 ppb 수준까지 제거하여 가스 공급 순도를 보장합니다. 2. 지능형 압력 조절: 순도 변동 ≤0.1%로 유량과 압력을 적응적으로 조절합니다. 3. 그린 테일 가스 처리: SCR 촉매 환원 기술은 NOx 배출량을 ≤5ppm으로 감소시킵니다. 산업화의 장점 표준화된 모듈과 신속한 대응 서비스를 통해 엄격한 가스 공급 시나리오에서도 효율적인 구현을 지원합니다. 1. 극한 저온 환경 적응: EP 등급 분배 파이프 및 밸브 박스는 -40℃에서 작동을 지원하며 배치 주기는 ≤15일입니다. 2. 글로벌 계측기 협력: Endress+Hauser 검출 장비의 안정적인 공급은 시스템 신뢰성을 크게 향상시킵니다. 3. 실시간 안전 보호: 이중 중복 누출 모니터링 + 4시간 장애 복구로 연속 생산을 보장합니다. 관련 상품 밸브
