Sistem Gas Khusus (SGS)

Rajah Aliran Proses

Rizab Teknikal

Mengguna pakai proses kimpalan ketulenan ultra tinggi dan teknologi peraturan bekalan gas pintar, mencapai pengangkutan gas khas dengan kestabilan ketulenan ≥99.9999% dan kadar kebocoran ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s, memenuhi piawaian kawalan kekotoran yang ketat industri semikonduktor.

1、Teknologi Pembersihan Gas: Proses penjerapan/pemangkinan membuang kekotoran ke tahap ppb, memastikan ketulenan bekalan gas.

2、Peraturan Tekanan Pintar: Secara adaptif sepadan dengan aliran dan tekanan, dengan turun naik ketulenan ≤0.1%.

3、Rawatan Gas Ekor Hijau: Teknologi pengurangan pemangkin SCR mengurangkan pelepasan NOx kepada ≤5 ppm.

Kelebihan Perindustrian

Dengan modul piawai dan perkhidmatan tindak balas pantas, menyokong pelaksanaan yang cekap dalam senario bekalan gas yang ketat.

1、Penyesuaian Persekitaran Sejuk Melampau: Paip pengedaran gred EP dan kotak injap menyokong operasi pada -40℃, dengan kitaran penggunaan ≤15 hari.

2、Kolaborasi Instrumen Global: Bekalan stabil peralatan pengesan Endress+Hauser dengan ketara meningkatkan kebolehpercayaan sistem.

3、Perlindungan Keselamatan Masa Nyata: Pemantauan kebocoran dwi redundansi + pemulihan kerosakan 4 jam memastikan pengeluaran berterusan.

Produk berkaitan

Injap