Sistem Gas Khusus (SGS)

Gambarajah Aliran Proses

Rizab Teknikal

Mengguna pakai proses kimpalan ketulenan ultra tinggi dan teknologi pengawalseliaan bekalan gas pintar, mencapai pengangkutan gas khas dengan kestabilan ketulenan ≥99.9999% dan kadar kebocoran ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s, memenuhi piawaian kawalan bendasing yang ketat dalam industri semikonduktor.

1, Teknologi Penulenan Gas: Proses penjerapan/pemangkinan menyingkirkan bendasing ke tahap ppb, memastikan ketulenan bekalan gas.

2, Peraturan Tekanan Pintar: Memadankan aliran dan tekanan secara adaptif, dengan turun naik ketulenan ≤0.1%.

3, Rawatan Gas Ekor Hijau: Teknologi pengurangan pemangkinan SCR mengurangkan pelepasan NOx kepada ≤5 ppm.

Kelebihan Perindustrian

Dengan modul piawai dan perkhidmatan tindak balas pantas, menyokong pelaksanaan yang cekap dalam senario bekalan gas yang ketat.

1, Adaptasi Persekitaran Sejuk Ekstrem: Paip agihan gred EP dan kotak injap menyokong operasi pada -40℃, dengan kitaran penggunaan ≤15 hari.

2、Kolaborasi Instrumen Global: Bekalan peralatan pengesanan Endress+Hauser yang stabil meningkatkan kebolehpercayaan sistem dengan ketara.

3, Perlindungan Keselamatan Masa Nyata: Pemantauan kebocoran dwi-redundansi + pemulihan kerosakan 4 jam memastikan pengeluaran berterusan.

Produk berkaitan

Injap