Speciaal gassysteem (SGS)

Processtroomdiagram

Technische reserve

Door de toepassing van lasprocessen met een ultrahoge zuiverheid en intelligente technologie voor de regeling van de gastoevoer wordt een speciaal gastransport bereikt met een zuiverheidsstabiliteit ≥99,9999% en een lekkagepercentage ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s, wat voldoet aan de strenge normen voor onzuiverheidscontrole in de halfgeleiderindustrie.

1. Gasreinigingstechnologie: adsorptie-/katalyseprocessen verwijderen onzuiverheden tot ppb-niveau, waardoor de zuiverheid van de gastoevoer wordt gegarandeerd.

2. Intelligente drukregeling: past de stroming en druk adaptief aan, met een zuiverheidsfluctuatie van ≤0,1%.

3. Groene staartgasbehandeling: SCR-katalytische reductietechnologie reduceert NOx-emissies tot ≤5 ppm.

Voordelen van industrialisatie

Ondersteun efficiënte implementatie in strikte gasleveringsscenario's met gestandaardiseerde modules en snelle-reactieservices.

1. Aanpassing aan extreme koude omgevingen: EP-klasse distributiebuizen en klepkasten ondersteunen werking bij -40℃, met een inzetcyclus ≤15 dagen.

2. Wereldwijde instrumentsamenwerking: een stabiele levering van Endress+Hauser-detectieapparatuur verbetert de betrouwbaarheid van het systeem aanzienlijk.

3. Realtime veiligheidsbescherming: Dubbele redundante lekkagebewaking + 4 uur herstel van storingen zorgt voor een continue productie.

Gerelateerde producten

Kleppen