Speciaal gassysteem (SGS)

Processtroomdiagram

Technische reserve

Door gebruik te maken van lasprocessen met ultrahoge zuiverheid en intelligente technologie voor de regeling van de gastoevoer, wordt speciaal gastransport bereikt met een zuiverheidsstabiliteit van ≥99,9999% en een lekpercentage van ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s, waarmee wordt voldaan aan de strenge normen voor onzuiverheidscontrole in de halfgeleiderindustrie.

1. Gaszuiveringstechnologie: Adsorptie-/katalyseprocessen verwijderen onzuiverheden tot ppb-niveau, waardoor de zuiverheid van de gasvoorziening wordt gewaarborgd.

2. Intelligente drukregeling: Past de stroom en druk adaptief aan, met een zuiverheidsfluctuatie van ≤0,1%.

3. Groene uitlaatgasbehandeling: SCR-katalytische reductietechnologie reduceert de NOx-uitstoot tot ≤5 ppm.

Voordelen van industrialisatie

Met gestandaardiseerde modules en snelle responsdiensten wordt een efficiënte implementatie in scenario's met strenge gasleveringseisen ondersteund.

1. Geschikt voor extreem koude omgevingen: EP-klasse distributieleidingen en ventielkasten ondersteunen werking bij -40℃, met een installatiecyclus van ≤15 dagen.

2. Wereldwijde samenwerking op het gebied van instrumenten: De stabiele levering van Endress+Hauser-detectieapparatuur verhoogt de betrouwbaarheid van het systeem aanzienlijk.

3. Realtime veiligheidsbescherming: Dubbele redundantie voor lekdetectie + 4 uur foutherstel garandeert continue productie.

Gerelateerde producten

Kleppen