Специальная газовая система (SGS)

Схема технологического процесса

Технический резерв

Применение сверхчистых сварочных процессов и интеллектуальной технологии регулирования подачи газа позволяет добиться специальной транспортировки газа со стабильностью чистоты ≥99,9999% и скоростью утечки ≤1×10⁻⁹ Па·м³/с, что соответствует строгим стандартам контроля примесей в полупроводниковой промышленности.

1. Технология очистки газа: процессы адсорбции/катализа удаляют примеси до уровня ppb, обеспечивая чистоту подачи газа.

2. Интеллектуальное регулирование давления: адаптивно согласует расход и давление с отклонением чистоты ≤0,1%.

3. Экологичная очистка хвостовых газов: технология каталитического восстановления SCR сокращает выбросы NOx до ≤5 ppm.

Преимущества индустриализации

Благодаря стандартизированным модулям и службам быстрого реагирования обеспечивается эффективное внедрение в условиях жестких ограничений на газоснабжение.

1. Адаптация к экстремально холодным условиям: распределительные трубы и клапанные коробки класса EP выдерживают эксплуатацию при температуре -40 ℃, с циклом развертывания ≤15 дней.

2. Глобальное сотрудничество в области приборов: стабильные поставки оборудования для обнаружения Endress+Hauser значительно повышают надежность системы.

3. Защита в режиме реального времени: двойной резервный мониторинг утечек + 4-часовое восстановление после сбоя обеспечивают непрерывное производство.

Сопутствующие товары

Клапаны