Специализированная газовая система (SGS)

Схема технологического процесса

Технический резерв

Применение процессов сварки сверхвысокой чистоты и интеллектуальной технологии регулирования подачи газа позволяет обеспечить транспортировку специальных газов со стабильностью чистоты ≥99,9999% и скоростью утечки ≤1×10⁻⁹ Па·м³/с, что соответствует строгим стандартам контроля примесей в полупроводниковой промышленности.

1. Технология очистки газа: процессы адсорбции/катализа удаляют примеси до уровня частей на миллиард (ppb), обеспечивая чистоту подаваемого газа.

2. Интеллектуальное регулирование давления: адаптивно подбирает расход и давление, при этом колебания чистоты составляют ≤0,1%.

3. Система очистки выхлопных газов: технология каталитического восстановления SCR снижает выбросы NOx до ≤5 ppm.

Преимущества индустриализации

Благодаря стандартизированным модулям и услугам оперативного реагирования обеспечивается эффективное внедрение в условиях жестких требований к газоснабжению.

1. Адаптация к экстремально низким температурам: Распределительные трубы и клапанные коробки класса EP выдерживают эксплуатацию при температуре -40℃, с циклом развертывания ≤15 дней.

2. Глобальное сотрудничество в области приборостроения: стабильные поставки оборудования для обнаружения Endress+Hauser значительно повышают надежность системы.

3. Защита в режиме реального времени: двухканальный резервный мониторинг утечек + восстановление после сбоев в течение 4 часов обеспечивают непрерывное производство.

Сопутствующие товары

Клапаны