نظام الغاز المتخصص (SGS)

特气

مخطط سير العملية

特气系统

الاحتياطي الفني

من خلال اعتماد عمليات اللحام عالية النقاء وتكنولوجيا تنظيم إمداد الغاز الذكية، يتم تحقيق نقل غاز خاص مع استقرار النقاء ≥99.9999% ومعدل التسرب ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s، مما يلبي معايير التحكم الصارمة في الشوائب لصناعة أشباه الموصلات.

1. تكنولوجيا تنقية الغاز: تعمل عمليات الامتزاز/التحفيز على إزالة الشوائب إلى مستويات جزء في المليار، مما يضمن نقاء إمدادات الغاز.

2. تنظيم الضغط الذكي: يتوافق بشكل متكيف مع التدفق والضغط، مع تقلب النقاء ≤0.1%.

3. معالجة غاز الذيل الأخضر: تعمل تقنية الاختزال التحفيزي الانتقائي على تقليل انبعاثات أكاسيد النيتروجين إلى ≤5 جزء في المليون.

مزايا التصنيع

بفضل الوحدات المعيارية وخدمات الاستجابة السريعة، ندعم التنفيذ الفعال في سيناريوهات إمداد الغاز الصارمة.

1. التكيف مع البيئة الباردة الشديدة: تدعم أنابيب التوزيع وصناديق الصمامات من الدرجة EP التشغيل عند درجة حرارة -40 درجة مئوية، مع دورة نشر ≤ 15 يومًا.

2. التعاون العالمي للأجهزة: إن الإمداد المستقر بمعدات الكشف من Endress+Hauser يعزز بشكل كبير من موثوقية النظام.

3. حماية السلامة في الوقت الحقيقي: مراقبة التسرب المزدوج + استرداد الخطأ لمدة 4 ساعات يضمن الإنتاج المستمر.

المنتجات ذات الصلة