Sistem Gas Khusus (SGS)

Diagram Alur Proses

Cadangan Teknis

Dengan mengadopsi proses pengelasan kemurnian ultra tinggi dan teknologi pengaturan pasokan gas cerdas, tercapai pengangkutan gas khusus dengan stabilitas kemurnian ≥99,9999% dan tingkat kebocoran ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s, memenuhi standar kontrol pengotor yang ketat di industri semikonduktor.

1. Teknologi Pemurnian Gas: Proses adsorpsi/katalisis menghilangkan pengotor hingga tingkat ppb, memastikan kemurnian pasokan gas.

2. Pengaturan Tekanan Cerdas: Menyesuaikan aliran dan tekanan secara adaptif, dengan fluktuasi kemurnian ≤0,1%.

3. Pengolahan Gas Buang Ramah Lingkungan: Teknologi reduksi katalitik SCR mengurangi emisi NOx hingga ≤5 ppm.

Keuntungan Industrialisasi

Dengan modul terstandarisasi dan layanan respons cepat, mendukung implementasi yang efisien dalam skenario pasokan gas yang ketat.

1. Adaptasi Lingkungan Dingin Ekstrem: Pipa distribusi dan kotak katup kelas EP mendukung pengoperasian pada suhu -40℃, dengan siklus pemasangan ≤15 hari.

2. Kolaborasi Instrumen Global: Pasokan peralatan deteksi Endress+Hauser yang stabil secara signifikan meningkatkan keandalan sistem.

3. Perlindungan Keamanan Real-time: Pemantauan kebocoran redundansi ganda + pemulihan kesalahan 4 jam memastikan produksi berkelanjutan.

Produk terkait

Katup