Sistem Gas Khusus (SGS)

Diagram Alir Proses

Cadangan Teknis

Mengadopsi proses pengelasan dengan kemurnian sangat tinggi dan teknologi pengaturan pasokan gas cerdas, mencapai transportasi gas khusus dengan stabilitas kemurnian ≥99,9999% dan tingkat kebocoran ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s, memenuhi standar pengendalian pengotor yang ketat dari industri semikonduktor.

1、Teknologi Pemurnian Gas: Proses adsorpsi/katalisis menghilangkan kotoran hingga tingkat ppb, memastikan kemurnian pasokan gas.

2. Pengaturan Tekanan Cerdas: Secara adaptif menyesuaikan aliran dan tekanan, dengan fluktuasi kemurnian ≤0,1%.

3. Pengolahan Gas Ekor Hijau: Teknologi reduksi katalitik SCR mengurangi emisi NOx hingga ≤5 ppm.

Keuntungan Industrialisasi

Dengan modul standar dan layanan respons cepat, mendukung implementasi yang efisien dalam skenario pasokan gas yang ketat.

1、Adaptasi Lingkungan Dingin Ekstrem: Pipa distribusi dan kotak katup kelas EP mendukung operasi pada suhu -40℃, dengan siklus penerapan ≤15 hari.

2. Kolaborasi Instrumen Global: Pasokan peralatan deteksi Endress+Hauser yang stabil secara signifikan meningkatkan keandalan sistem.

3. Perlindungan Keamanan Waktu Nyata: Pemantauan kebocoran redundansi ganda + pemulihan kesalahan 4 jam memastikan produksi berkelanjutan.

Produk terkait

Katup