Sistema de Gás Especial (SGS)

Diagrama de fluxo de processo

Reserva Técnica

Adotando processos de soldagem de pureza ultra-alta e tecnologia inteligente de regulação de fornecimento de gás, obtém-se transporte de gás especial com estabilidade de pureza ≥99,9999% e taxa de vazamento ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s, atendendo aos rigorosos padrões de controle de impurezas da indústria de semicondutores.

1、Tecnologia de purificação de gás: os processos de adsorção/catálise removem impurezas para níveis de ppb, garantindo a pureza do fornecimento de gás.

2、Regulação inteligente de pressão: adapta-se ao fluxo e à pressão, com flutuação de pureza ≤0,1%.

3、Tratamento de gás residual verde: a tecnologia de redução catalítica SCR reduz as emissões de NOx para ≤5 ppm.

Vantagens da Industrialização

Com módulos padronizados e serviços de resposta rápida, ofereça suporte à implementação eficiente em cenários rigorosos de fornecimento de gás.

1、Adaptação a ambientes extremamente frios: tubos de distribuição e caixas de válvulas de grau EP suportam operação a -40℃, com ciclo de implantação ≤15 dias.

2、Colaboração global de instrumentos: o fornecimento estável de equipamentos de detecção Endress+Hauser aumenta significativamente a confiabilidade do sistema.

3、Proteção de segurança em tempo real: monitoramento de vazamento de redundância dupla + recuperação de falhas de 4 horas garantem produção contínua.

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