Hệ thống khí chuyên dụng (SGS)

Sơ đồ quy trình

Dự trữ kỹ thuật

Bằng cách áp dụng quy trình hàn siêu tinh khiết và công nghệ điều chỉnh cung cấp khí thông minh, đạt được khả năng vận chuyển khí đặc biệt với độ ổn định tinh khiết ≥99,9999% và tỷ lệ rò rỉ ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s, đáp ứng các tiêu chuẩn kiểm soát tạp chất nghiêm ngặt của ngành công nghiệp bán dẫn.

1. Công nghệ lọc khí: Các quá trình hấp phụ/xúc tác loại bỏ tạp chất đến mức ppb, đảm bảo độ tinh khiết của khí cung cấp.

2. Điều chỉnh áp suất thông minh: Tự động điều chỉnh lưu lượng và áp suất, với độ biến động độ tinh khiết ≤0,1%.

3. Xử lý khí thải thân thiện với môi trường: Công nghệ khử xúc tác SCR giúp giảm lượng khí thải NOx xuống ≤5 ppm.

Lợi thế của công nghiệp hóa

Với các mô-đun tiêu chuẩn hóa và dịch vụ phản hồi nhanh chóng, hỗ trợ triển khai hiệu quả trong các tình huống cung cấp khí đốt nghiêm ngặt.

1. Khả năng thích ứng với môi trường cực lạnh: Ống phân phối và hộp van đạt tiêu chuẩn EP hỗ trợ hoạt động ở nhiệt độ -40℃, với chu kỳ triển khai ≤15 ngày.

2. Hợp tác toàn cầu về thiết bị: Việc cung cấp ổn định thiết bị dò tìm của Endress+Hauser giúp tăng cường đáng kể độ tin cậy của hệ thống.

3. Bảo vệ an toàn thời gian thực: Giám sát rò rỉ dự phòng kép + khả năng phục hồi lỗi trong 4 giờ đảm bảo sản xuất liên tục.

Sản phẩm liên quan

Van