Hệ thống khí đặc biệt (SGS)

Sơ đồ quy trình

Dự trữ kỹ thuật

Áp dụng quy trình hàn có độ tinh khiết cực cao và công nghệ điều chỉnh nguồn cung cấp khí thông minh, đạt được khả năng vận chuyển khí đặc biệt với độ ổn định về độ tinh khiết ≥99,9999% và tỷ lệ rò rỉ ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s, đáp ứng các tiêu chuẩn kiểm soát tạp chất nghiêm ngặt của ngành công nghiệp bán dẫn.

1、Công nghệ lọc khí: Các quy trình hấp phụ/xúc tác loại bỏ tạp chất xuống mức ppb, đảm bảo độ tinh khiết của nguồn cung cấp khí.

2、Điều chỉnh áp suất thông minh: Tự động điều chỉnh lưu lượng và áp suất, với độ biến động độ tinh khiết ≤0,1%.

3、Xử lý khí thải Green Tail: Công nghệ khử xúc tác SCR giúp giảm lượng khí thải NOx xuống ≤5 ppm.

Lợi thế của công nghiệp hóa

Với các mô-đun chuẩn hóa và dịch vụ phản hồi nhanh, hỗ trợ triển khai hiệu quả trong các tình huống cung cấp khí đốt nghiêm ngặt.

1、Thích ứng với môi trường cực lạnh: Ống phân phối và hộp van đạt tiêu chuẩn EP hỗ trợ hoạt động ở nhiệt độ -40℃, với chu kỳ triển khai ≤15 ngày.

2、Hợp tác thiết bị toàn cầu: Nguồn cung cấp ổn định thiết bị phát hiện Endress+Hauser giúp tăng cường đáng kể độ tin cậy của hệ thống.

3、Bảo vệ an toàn theo thời gian thực: Giám sát rò rỉ dự phòng kép + phục hồi lỗi trong 4 giờ đảm bảo sản xuất liên tục.

Sản phẩm liên quan

Van