Spezialgassystem (SGS)

Prozessablaufdiagramm

Technische Reserve

Durch die Anwendung von Schweißverfahren mit ultrahoher Reinheit und intelligenter Gasversorgungsregelungstechnik wird ein spezieller Gastransport mit einer Reinheitsstabilität von ≥99,9999 % und einer Leckrate von ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s erreicht, wodurch die strengen Reinheitskontrollstandards der Halbleiterindustrie erfüllt werden.

1、Gasreinigungstechnologie: Adsorptions-/Katalyseverfahren entfernen Verunreinigungen bis in den ppb-Bereich und gewährleisten so die Reinheit der Gasversorgung.

2、Intelligente Druckregelung: Passt Durchfluss und Druck adaptiv an, mit einer Reinheitsschwankung von ≤0,1%.

3. Umweltfreundliche Abgasreinigung: Die SCR-Katalysator-Reduktionstechnologie reduziert die NOx-Emissionen auf ≤5 ppm.

Vorteile der Industrialisierung

Mit standardisierten Modulen und schnellen Reaktionsdiensten wird eine effiziente Implementierung auch in anspruchsvollen Gasversorgungsszenarien unterstützt.

1、Anpassung an extreme Kältebedingungen: Verteilerrohre und Ventilkästen der EP-Klasse unterstützen den Betrieb bei -40℃ mit einem Einsatzzyklus von ≤15 Tagen.

2、Globale Zusammenarbeit bei der Instrumentenentwicklung: Die stabile Versorgung mit Detektionsgeräten von Endress+Hauser erhöht die Systemzuverlässigkeit erheblich.

3. Echtzeit-Sicherheitsschutz: Doppelt redundante Leckageüberwachung + 4-Stunden-Fehlerbehebung gewährleisten eine kontinuierliche Produktion.

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