Sistema di gas speciali (SGS)

Diagramma di flusso del processo

Riserva tecnica

Adottando processi di saldatura ad altissima purezza e una tecnologia di regolazione intelligente dell'erogazione del gas, si ottiene uno speciale trasporto del gas con una stabilità della purezza ≥99,9999% e un tasso di perdita ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s, soddisfacendo i rigorosi standard di controllo delle impurità dell'industria dei semiconduttori.

1. Tecnologia di purificazione del gas: i processi di adsorbimento/catalisi rimuovono le impurità a livelli di ppb, garantendo la purezza del gas fornito.

2. Regolazione intelligente della pressione: adatta in modo adattivo flusso e pressione, con fluttuazioni della purezza ≤0,1%.

3. Trattamento dei gas di coda ecologici: la tecnologia di riduzione catalitica SCR riduce le emissioni di NOx a ≤5 ppm.

Vantaggi dell'industrializzazione

Grazie a moduli standardizzati e servizi di risposta rapida, supportiamo l'implementazione efficiente in scenari di fornitura di gas rigorosi.

1. Adattamento ad ambienti estremamente freddi: i tubi di distribuzione e le scatole valvole di grado EP supportano il funzionamento a -40°C, con ciclo di distribuzione ≤15 giorni.

2. Collaborazione globale sugli strumenti: la fornitura stabile di apparecchiature di rilevamento Endress+Hauser migliora significativamente l'affidabilità del sistema.

3. Protezione di sicurezza in tempo reale: il monitoraggio delle perdite a doppia ridondanza + il ripristino dei guasti in 4 ore garantiscono una produzione continua.

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