Sistema di gas speciali (SGS)

Diagramma di flusso del processo

Riserva tecnica

Adottando processi di saldatura ad altissima purezza e una tecnologia di regolazione intelligente dell'erogazione del gas, si ottiene un trasporto di gas speciale con stabilità della purezza ≥99,9999% e tasso di perdita ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s, soddisfacendo i rigorosi standard di controllo delle impurità dell'industria dei semiconduttori.

1、Tecnologia di purificazione del gas: i processi di adsorbimento/catalisi rimuovono le impurità a livelli di ppb, garantendo la purezza dell'erogazione del gas.

2、Regolazione intelligente della pressione: adatta in modo adattivo flusso e pressione, con fluttuazione della purezza ≤0,1%.

3. Trattamento dei gas di coda ecologici: la tecnologia di riduzione catalitica SCR riduce le emissioni di NOx a ≤5 ppm.

Vantaggi dell'industrializzazione

Grazie a moduli standardizzati e servizi di risposta rapida, supportiamo un'implementazione efficiente in scenari di fornitura di gas rigorosi.

1、Adattamento ad ambienti estremamente freddi: i tubi di distribuzione e le scatole delle valvole di grado EP supportano il funzionamento a -40℃, con ciclo di distribuzione ≤15 giorni.

2. Collaborazione globale sugli strumenti: la fornitura stabile di apparecchiature di rilevamento Endress+Hauser migliora significativamente l'affidabilità del sistema.

3、Protezione di sicurezza in tempo reale: il monitoraggio delle perdite a doppia ridondanza + il ripristino dei guasti entro 4 ore garantiscono una produzione continua.

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