Système de gaz spéciaux (SGS)

Diagramme de flux de processus

Réserve technique

En adoptant des procédés de soudage d'une pureté ultra-élevée et une technologie de régulation intelligente de l'alimentation en gaz, on obtient un transport de gaz spécial avec une stabilité de pureté ≥99,9999% et un taux de fuite ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s, répondant aux normes strictes de contrôle des impuretés de l'industrie des semi-conducteurs.

1. Technologie de purification du gaz : Les procédés d'adsorption/catalyse éliminent les impuretés jusqu'à des niveaux de ppb, garantissant la pureté de l'approvisionnement en gaz.

2、Régulation intelligente de la pression : Adapte le débit et la pression, avec une fluctuation de pureté ≤0,1 %.

3. Traitement écologique des gaz d'échappement : la technologie de réduction catalytique SCR réduit les émissions de NOx à ≤5 ppm.

Avantages de l'industrialisation

Grâce à des modules standardisés et à des services d'intervention rapide, nous assurons une mise en œuvre efficace même dans des contextes d'approvisionnement en gaz stricts.

1. Adaptation aux environnements extrêmement froids : les tuyaux de distribution et les boîtes de vannes de qualité EP supportent un fonctionnement à -40℃, avec un cycle de déploiement ≤15 jours.

2. Collaboration mondiale sur les instruments : un approvisionnement stable en équipements de détection Endress+Hauser améliore considérablement la fiabilité du système.

3. Protection de sécurité en temps réel : la surveillance des fuites à double redondance et la récupération des pannes en 4 heures garantissent une production continue.

Produits associés

vannes