Système de gaz spéciaux (SGS)

Diagramme de flux de processus

Réserve technique

En adoptant des processus de soudage de très haute pureté et une technologie de régulation intelligente de l'alimentation en gaz, obtenez un transport de gaz spécial avec une stabilité de pureté ≥ 99,9999 % et un taux de fuite ≤ 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s, répondant aux normes strictes de contrôle des impuretés de l'industrie des semi-conducteurs.

1. Technologie de purification du gaz : les processus d'adsorption/catalyse éliminent les impuretés à des niveaux de ppb, garantissant ainsi la pureté de l'approvisionnement en gaz.

2. Régulation intelligente de la pression : adapte de manière adaptative le débit et la pression, avec une fluctuation de pureté ≤ 0,1 %.

3. Traitement des gaz résiduels verts : la technologie de réduction catalytique SCR réduit les émissions de NOx à ≤ 5 ppm.

Avantages de l'industrialisation

Grâce à des modules standardisés et des services de réponse rapide, soutenez une mise en œuvre efficace dans des scénarios d'approvisionnement en gaz stricts.

1. Adaptation aux environnements extrêmement froids : les tuyaux de distribution et les boîtes à vannes de qualité EP prennent en charge un fonctionnement à -40℃, avec un cycle de déploiement ≤15 jours.

2、Collaboration mondiale en matière d'instruments : l'approvisionnement stable en équipements de détection Endress+Hauser améliore considérablement la fiabilité du système.

3. Protection de sécurité en temps réel : la surveillance des fuites à double redondance + la récupération des pannes en 4 heures garantissent une production continue.

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