Speciális gázrendszer (SGS)

Folyamatábra

Technikai tartalék

A rendkívül nagy tisztaságú hegesztési eljárások és az intelligens gázellátás-szabályozó technológia alkalmazásával speciális gázszállítás érhető el ≥99,9999%-os tisztasági stabilitással és ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s szivárgási sebességgel, megfelelve a félvezető ipar szigorú szennyeződés-szabályozási szabványainak.

1. Gáztisztító technológia: Az adszorpciós/katalízises folyamatok ppb szintre távolítják el a szennyeződéseket, biztosítva a gázellátás tisztaságát.

2. Intelligens nyomásszabályozás: Adaptívan igazítja az áramlást és a nyomást, ≤0,1% tisztasági ingadozással.

3. Zöld kipufogógáz-kezelés: Az SCR katalitikus redukciós technológia ≤5 ppm-re csökkenti az NOx-kibocsátást.

Az iparosítás előnyei

Szabványosított modulokkal és gyors reagálású szolgáltatásokkal támogatja a hatékony megvalósítást szigorú gázellátási forgatókönyvek esetén.

1. Extrém hideg környezethez való alkalmazkodás: Az EP minőségű elosztócsövek és szelepdobozok -40 ℃-on is működnek, ≤15 napos telepítési ciklussal.

2. Globális műszeregyüttműködés: Az Endress+Hauser érzékelőberendezéseinek stabil ellátása jelentősen növeli a rendszer megbízhatóságát.

3. Valós idejű biztonsági védelem: A kettős redundanciájú szivárgásfigyelés + a 4 órás hibajavítás folyamatos termelést biztosít.

Kapcsolódó termékek

Szelepek